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清洗机原理及设备结构介绍

  清洗机原理及设备结构介绍_调查/报告_表格/模板_实用文档。清洗机原理及设备结构 介绍 扫地机 清洗目的及环境要求 ? 目的:基板经过切割裂片后,在玻璃表面容易残留 玻璃碎屑,清洗

  清洗机原理及设备结构 介绍 扫地机 清洗目的及环境要求 ? 目的:基板经过切割裂片后,在玻璃表面容易残留 玻璃碎屑,清洗的主要目的是在短时间内将玻璃碎 屑冲掉,避免玻璃屑重新附着在基板上,造成玻璃 异物,不容易去除。 ? 环境要求:①环境温度:22+2℃,相对湿度: 45%+10%;②洁净等级:5000级,与相邻加工区保 持微正压,与相邻检查区保持5Pa微负压。 清洗工艺流程 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? WDT:预湿机 CLE1:输入传送带 CLE2:盘刷清洗 CLE3:超声波清洗 CLE4:二流体清洗1 CLE5:滚刷清洗 CLE6:二流体清洗2 CLE7:最终喷淋 CLE8:风刀干燥 CLE9:输出传送带 WDT预湿机 ? 预湿机的作用:①对玻璃进行预湿;②对研磨后的玻璃进行抽检;③投 入玻璃进行二次清洗。 ? ? 预湿机的结构:机架、传送滚轮、喷淋装置、护罩、水槽、升降机构。 水平传送滚轮(小滚轮):直径60mm。 ? ? ? 抽检传送滚轮(大滚轮):直径150mm。 小滚轮材质:UPE 。 大滚轮材质:POM。 超高分子 链聚乙烯 聚甲醛 ? ? ? 升降机构是由气缸带动机架升降,旁边有4个导向轴,上面是大滚轮。 喷淋管上面7排,下面2排水管,由1#水箱供水。 共有4个传感器:入口、出口、中间两侧。 DWT抽检 (1)水平传送部分:通过电机减速机带动大滚轮转动,水平传送与预湿 机连接处设有小滚轮过渡。 (2)翻转部分:通过左右端2个汽缸带动齿条直线运动来带动齿轮转动, 从而带动机架翻转73°,(翻转架子上装有2个光电传感器检测玻 璃),架子下部设有2个缓冲器。 预湿机及DWT抽检示意图 二次投入传感器 玻璃输出 玻璃输入 大滚轮 进入传感器 输出传感器 过渡小滚轮 抽检传感器 抽检玻璃 输出投入 翻转架 对射光电传感器 预湿机抽检传送流程 ? 预湿机抽检传送动作流程: 玻璃通过预湿机需要抽检时,经过入口磁性传感 器传送带开始减速,当玻璃经过中间一侧的磁性 传感器时,传送滚轮停止,同时气缸带动机架上 升20mm停止,垂直传送滚轮开始运行,此传感 器检测到玻璃离开后,机架开始下降,回到原位, 水平传送带又开始水平输送玻璃。 输入 传送带(CLE1) (1)传送带设有定位装置,两侧各1个汽缸定位玻璃。 ? (2)滚轮的材质是尼龙,挡边轮材质是UPE。 (3)设有2组滚刷,上下各2排,滚刷转动方向与玻璃前进方向相反。 (4)传送带出口处设有1组海绵滚筒,抹干玻璃上的水份。 (5)喷淋用的是6#水箱的水,水经10μm过滤器进行过滤。 工作原理:玻璃进入输送传送带,上下各7排喷淋系统对玻璃进行初始清洗, ? ? ? ? 三菱的变频电机驱动轴上的斜齿轮组来带动传送带,当磁性传感器检查到玻璃通 过时,两侧的汽缸驱动定位块对玻璃定位,来矫正玻璃的位置。 输入传送带结构示意图 ? 其结构示意图如下: Substrate 磁性传感器 盘刷清洗(CLE2) ? 设备结构: ? ? 盘刷区共有4组盘刷,盘刷的间距和转速都可以调节。 盘刷区还有喷淋装置,喷淋装置上的喷嘴方向可以调节, 上有压力表和调节阀门,还有观测流量计。 盘刷清洗水需加入清洗剂,由2,3#水箱(一用一备)提 供,由于加入了清洗剂废水不能被其他区域利用,只能自 身循环利用,且水需要加热到40~45℃。清洗剂:PKLCG211,水的PH值为12~14。 ? 盘刷清洗 ? ? ? ? 刷毛:Φ=0.1mm,尼龙材质。 上下盘刷:交叉1~2mm。 升降调节方式:锥齿轮+螺旋升降+前后同步。 驱动方式:交流变频电机(滚轮驱动),盘刷轴驱动 为直流电机。 盘刷:直径85mm。 转速:200~300r/min(可调)。 ? ? 盘刷传送带示意图 盘刷 盘刷 盘刷 盘刷清洗水箱示意图(CLE3) 浓度测量仪 高液位传感器 低液位传感器 取样管 加热管 温度传 感器 超声波清洗(CLE4) ? 超声波介绍: ? ? ? ? ? (1)有7个振板,每个振板共有16个振子,每个振子功率50W。 (2)超声波发生的频率为40-90KHZ。频率、功率可调。 (3)水箱有两个一用一备(4#、5#水箱)。 (4)水箱有加热装置、浓度、温度传感器。 (5)水箱中有4个浮球式传感器检测液位。 (6)强碱性清洗剂,PH值12-14。 ? ? (7)1个清洗剂箱。 注:玻璃是浸泡在水中进行传送和清洗的。 超声波传送带示意图 ? 超声波 水槽 注:水槽内有两 个液位器,以保 证水的液面超过 玻璃的表面,玻 璃浸泡在水中清 洗B面。 由超声波发生器发出的高频振荡信号,通过换能器转换成高频机械振荡而传播到介 质—清洗溶剂中,超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射,使液体流动而产生数以万 计的直径为50μm-500μm的微小气泡,这些气泡在超声波纵向传播的负压区形成、生 长,而在正压区迅速闭合,在这种被称之为空穴作用的过程中,气泡闭合可形成几百 度的高温和超过1000个气压的瞬间高压,连续不断产生瞬间高压就像一连串小“爆 炸”不断地冲击物体表面,使物体的表面及缝隙中的污垢迅速剥落,从而达到物件表 面净化的目的。 二流体一清洗(CLE5) ? ? ? ? 二流体清洗介绍: (1)二流体组成: 洁净压缩空气(CDA)和纯水(DI Water)的混合体。 (2)CDA过滤器0.01um、DI Water过滤器1.2um。 (3)上下各1个二流体喷淋体,长度830mm,二流体喷体上进入处有5个 孔,分别通入CDA和DI Water ,喷口处为0.1mm液刀口。 ? (4)玻璃通过二流体清洗后,有喷淋管对玻璃进行清洗,上面有4排喷水 管,下面有3排喷水管,每排6个喷嘴。 (5)二流体1清洗用水利用的滚刷使用后的废水,7号水箱供水;二流体2 利用的是最终喷淋使用后的废水,9号水箱供水 ? 。 二流体一喷淋体结构示意图 通气 170mm 通水 倾斜约10°,倾斜角度可调。 19 滚刷清洗(CLE6) 滚刷段介绍: ? 一共设有3组滚刷, 上下有各7排喷淋嘴。 ? ? 滚刷上、下间距可调。 设有一个水箱,供水管安装有 0.45μm过滤器,装有4个光电液位传感器。 ? ? 清洗水是利用二流体2使用后的废水,8号水箱供水。 滚刷转速:400~500r/min。 二流体二清洗(CLE6) 二流体二清洗介绍: ? 二流体清洗大于2μm的污染物 ? ? 二流体组成: 洁净压缩空气(CDA)和纯水(DI Water)的混合体,上下二流体喷嘴间距 80mm左右。 ? 二流体二上面4排下面3排喷淋管。 ? 上下各1个二流体喷淋体,二流体喷体上进入处有5个孔,分别通入CDA和DI Water ,喷口 处为0.1mm液刀口。 CDA DI Water 二流体喷体 ? 二流体二利用的是最终喷淋使用后的水,9号水箱供水。 最终喷淋(CLE7) 最终喷淋介绍: (1)液刀的作用是把玻璃表面上多余的水切出,液刀在喷淋的末端。 (2)喷淋装置上面6排喷嘴,下面有5排喷嘴。 (3)10#水箱供水,供水管道安装有0.2μm过滤器,水箱安装有加热装置, 有温度传感器,装有4个光电液位传感器。 (4)清洗是18MΩ超纯水,温度要求40-45℃。 (5)用过的超纯水经过滤后供二流体2使用。 风刀干燥(CLE8) 风刀干燥介绍: (1)有两组风刀,风刀结构类似于液刀,上下各有一把风刀,刀风口0.1mm; (2)风刀角可调,每片上都有四个进风口,风刀与水平面的夹角20。 (3)为了避免风刀吹出的高速气流在该区产生涡流,在区域上安装了EFU高 效空气过滤器,向下面吹过滤空气,防止该区产生涡流。 EFU结构 ? EFU结构示意图: 风扇 HEPA 过滤器 风刀 风刀干燥结构示意图 回风管 由于两组风刀对滚轮轴有一定的阻隔,所以滚轮传输需要两根驱动轴 输出传送带(CLE9) ? 该区和输入传送带一样设有气缸定位装置,另一个功能是 设有离子风棒去除玻璃表面的静电,离子风泵采用的是放电 针放电,正负两种电荷交替使用在玻璃表面中和静电离子, 达到去静电的目的。离子风泵采用洁净压缩空气供气。 清洗机供水及抽雾示意图 循环水系统 纯水循环利用: 最终喷淋 最终喷淋 二流体二 滚刷 二流体一 二流体二 滚刷回水回水 二流体一回水 输入传送带 输入传送带回水 预湿机 超声波 剂补给箱 水箱供给盘刷 超声波 盘刷各有一个清洗 水箱液位计:最高报警位、停止补水位、低位补水位、最低报警位 。 抽雾系统示意图 压差表 过滤器 阀门 各清洗制程比较 清洗过程 目的 除去有机物 毛刷 除去5um以上 particle 二流体 超声波 除去 1um~5umparticle 除去1umparticle 特征 利用界面活性剂产生 亲水性及亲油性除去 油脂 基板便面直接摩擦 利用空气与水混合后, 在基板表面产生气体 爆炸 利用液体在基板上产 生共振效果 风刀 玻璃基板干燥 除去表面液体 清洗能动性能指标 用水要求:①18MΩ(电导率)超纯水; ②TOC(有机碳总和):100PPb (十亿分之一); ③SiO2:50PPb。 ? CDA:①温度:25+5℃, ②露点:-50℃不凝水, ③Particle:0.3um,30ea/cm2。 ?

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